FOCUSED ION BEAM MICROMACHINING

Akhmad, Al Antoni (2010) FOCUSED ION BEAM MICROMACHINING. Jurnal Rekayasa Sriwijaya, 19 (2). pp. 61-69. ISSN 0852-5366

[img]
Preview
PDF - Published Version
Download (658Kb) | Preview

    Abstract

    Produk-produk modern yang dikembangkan sekarang banyak memiliki ukuran yang semakin kecil dalam skala mikrometer. Proses pembuatan komponen dalam skala mikrometer tersebut dapat dilakukan dengan Focused Ion Beam (FIB).Seiring dengan perkembangan zaman karena kemampuannya dapat digunakan untuk memproduksi benda-benda berukuran mikro maka FIB ini dikembangakan dengan micromachining atau sering disebut dengan Focused Ion Beam Micromachining(FIBM). Teknologi FIBM memiliki keunggulan dibandingkan teknik-teknik micromachining lainnya dikarenakan resolusi spasialnya yang tinggi dan kemampuan untuk pabrikasi tanpa maskant. Dengan mengatur parameter-parameter pemesinan, struktur-struktur dengan bentuk tiga dimensi kompleks yang berukuran mikro dapat dibua dengan FIBM ini.

    Item Type: Article
    Subjects: T Technology > TJ Mechanical engineering and machinery
    T Technology > TS Manufactures
    Divisions: Faculty of Engineering > Department of Mechanical Engineering
    Depositing User: Al Antoni Akhmad
    Date Deposited: 22 Mar 2012 06:53
    Last Modified: 22 Mar 2012 06:53
    URI: http://eprints.unsri.ac.id/id/eprint/654

    Actions (login required)

    View Item